半導体用 6軸ロボット
スーパークリーンルーム対応 高精度6軸ロボット
繊細なプロセスが必要となる半導体用途に求められるロボットは、スーパークリーンルーム環境に適合しているだけでなく、 高い生産性を実現する信頼性の高さと精度が求められます。TX2 SCRシリーズはスーパークリーンルームでのキャリアの搬送、ウエハやマスクプロセスに多くの実績を持ちます。
- 企業:ストーブリ株式会社
- 価格:応相談
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スーパークリーンルーム対応 高精度6軸ロボット
繊細なプロセスが必要となる半導体用途に求められるロボットは、スーパークリーンルーム環境に適合しているだけでなく、 高い生産性を実現する信頼性の高さと精度が求められます。TX2 SCRシリーズはスーパークリーンルームでのキャリアの搬送、ウエハやマスクプロセスに多くの実績を持ちます。
300mm×300mm搬送が可能な2軸ロボットをレンタル致します!!
1軸 可動距離:300mm、搬送速度:1~100mm/sec 2軸 可動距離:300mm、搬送速度:0.5~50mm/sec コントロールはPCで制御!もちろんPCも一緒にレンタル致します。
高いクリーン度が求められる環境下での実績が多いストーブリクリーンルームロボット
クリーンルーム/スーパークリーンルームに対応したストーブリのSCRロボットシリーズは、クリーン度の高い環境下での作業ニーズに応えるために特別に開発された6軸ロボットです。 これらのロボットは、半導体、バイオテクノロジー、医薬、医療などの産業分野において認証が求められるクリーン度クラス2(ISO規格)に準拠しています。 【特長】 ■より高い安全性と生産性 ■作業環境の改善、事故リスクの減少と作業者の保護 ■システムのより高い信頼性 ■長い製品寿命と短いサイクルタイムによる高い費用対効果 ■洗浄、除染時間の短縮 ■品質管理の改善と長期的な品質維持 ↓その他詳細は、カタログをダウンロード、またはお問い合わせください↓
半導体製造の搬送工程を最適化する、高精度単軸ロボット
半導体製造業界では、ウェーハや基板の搬送において、高い精度と信頼性が求められます。特に、クリーンルーム環境下での搬送は、異物混入を防ぎ、歩留まりを向上させるために重要です。単軸ロボットの故障は、生産ライン全体の停止につながり、大きな損失を招く可能性があります。HIWIN単軸ロボットは、これらの課題に対し、高精度な位置決め性能と高い信頼性で貢献します。 【活用シーン】 ・ウェーハ搬送 ・基板搬送 ・部品のピッキングと配置 ・クリーンルーム内での搬送 【導入の効果】 ・搬送時間の短縮 ・位置決め精度の向上 ・歩留まりの改善 ・生産性の向上
省エネ・省スペースで実現する、やさしい自動化。
環境負荷低減や省エネルギーが求められる製造現場においては、装置の効率化と無駄のない動作設計が重要です。単軸ロボットは、直線動作に特化したシンプルな構造により、必要最小限の駆動で高精度な位置決めを実現します。コンパクト設計による省スペース化は、設備点数や設置面積の削減に貢献し、エネルギー消費や資源使用量の低減を支援します。既存設備への組み込みや後付けにも対応し、無理のない自動化による環境配慮型生産を可能にします。 【活用シーン】 ・省エネ設計を意識した自動化ライン ・設備の小型化・集約化による環境負荷低減 ・人手作業削減による効率的な生産工程 ・既存設備の省資源化・延命対応 ・CO₂排出削減を意識した工程改善 【導入の効果】 ・エネルギー使用量の抑制 ・設備点数削減による省資源化 ・省スペース化による工場レイアウト効率向上 ・持続可能な生産体制の構築支援